我国电子工业用气体的现状被引量：4

The Present Situation For The Electronic Gases In Our Country

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摘要综述了我国电子工业用气体的现状与改进方向。 Reviewed the present situation and point out the way forward for the electronic gases in our country.

作者王少楠

机构地区西南化工研究设计院气体标准化研究所

出处《低温与特气》 CAS 2005年第2期39-41,共3页 Low Temperature and Specialty Gases

关键词电子工业用气体现状标准 electronic gases the present situation standard

同被引文献21

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低温与特气

2005年第2期

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