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SWAGELOK推出全新产品服务中国客户

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摘要 Swagelok日前宣布推出全新的产品系列,面对快速成长的中国半导体产业,将全力服务于中国半导体产业客户。推出的新产品包括Swagelok DRP系列超高纯度铁弗龙隔膜阀和原子层沉积(ALD)工艺用阀。
出处 《中国集成电路》 2005年第5期30-30,共1页 China lntegrated Circuit

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