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表面分析技术在半导体器件研发与制造中的地位
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摘要
材料与表面分析技术在半导体器件研发与生产中的地位是一个既清楚又模糊的问题。原因是它的作用有其显见的一面也有其隐匿的一面。如何在实践中发挥它的作用不是一个能够简单地回答的问题。本文将就这一问题进行了浅显的初探。
作者
田春生
机构地区
EVANS分析集团
出处
《中国集成电路》
2005年第6期62-65,共4页
China lntegrated Circuit
关键词
表面分析技术
半导体器件
研发
制造
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
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中国集成电路
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