多功能等离子体沉积系统

本项目是针对新近发展的领域如纲米材料等所需相关等离子体沉积系统装备进行开发及产业化而提出的。项目产品主要有磁控溅射阴极等，可用于半导体制造及特种工艺等非常广泛的领域。项目所开发的磁控等离子体薄膜制备设备目前已通过前期的研究和产业化小试生产，拥有这方面的核心技术与知识产权，将摆脱新型发光器件和太阳能电池等相关的核心技术依赖国外引进的现状。