BST铁电薄膜的制备及其性能的研究进展

Ba1-xSrxTiO3铁电薄膜具有优良的介电性、铁电性、热释电性，得到了广泛的研究，近年来取得了很多进展。简介了BST材料的结构，并综述了BST薄膜的制备方法及BST薄膜的性能测试和影响铁电性能的几个因素。