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掺杂对类金刚石薄膜性能的影响
被引量:
3
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摘要
类金刚石膜具有良好的机械性能、电学性能、光学性能、摩擦学性能、热学和化学性能以及生物相容性。为了进一步挖掘并改善类金刚石膜潜在性能,人们在类金刚石膜中掺入不同元素并研究了膜性能变化。总结了掺杂对类金刚石膜性能的影响。
作者
王立达
刘贵昌
邓新绿
机构地区
大连理工大学化工学院
大连理工大学三束改性国家重点实验室
出处
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
2004年第F10期310-312,316,共4页
Materials Reports
关键词
薄膜性能
掺杂
类金刚石膜
摩擦学性能
生物相容性
机械性能
电学性能
光学性能
化学性能
性能变化
分类号
O484.41 [理学—固体物理]
TN104.3 [电子电信—物理电子学]
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材料导报
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