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Al-Mx金属多层膜的红外特性研究 被引量:5

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摘要 利用红外光谱仪分析了用离子溅射技术制备的Al-Mx金属多层膜的红外特性。结果表明,在2000~4000cm^-1波段多层膜具有良好的红外吸收特性,并推导了多层膜对特定波段的红外波的吸收公式。
作者 王闸 孙勇
出处 《材料导报》 EI CAS CSCD 2004年第F04期239-241,共3页 Materials Reports
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