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磨床

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摘要 Development of an ultraprecision grinding machine with tfigonal prism type pentahedral structure for 400ramsilicon wafer；……

出处《金属加工工艺与设备：英文版》 2005年第3期12-14,共3页

关键词磨床精度控制三角形棱柱硅晶片

分类号 TG584 [机械工程—精密仪器及机械] TN305 [电子电信—物理电子学]

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金属加工工艺与设备：英文版

2005年第3期

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