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低温大面积生长CNT技术

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摘要日本东海大学开发了仅在500℃下用高频等离子来生长碳纳米管(CNT)的大面积薄膜的技术。该技术是先在基板上溅射铁催化剂膜，然后用红外线加热基板，并同时以13．56MHz高频等离子体来分解碳化氢气体而得到CNT薄膜。CNT薄膜将应用于FED冷阴极、电容器、化学传感器等。

出处《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2005年第3期219-219,共1页 Chinese Journal of Liquid Crystals and Displays

关键词 CNT 技术生长面积低温高频等离子体红外线加热化学传感器碳纳米管铁催化剂薄膜 500 碳化氢冷阴极 FED 电容器基板分解

分类号 O513 [理学—低温物理] TQ325.12 [化学工程—合成树脂塑料工业]

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液晶与显示

2005年第3期

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