敏感材料和固态传感器的发展

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摘要木文介绍当前敏感材料和固态传感器发展的情况．新型敏感材料和新工艺的出现，使传感器不断趋向于微型化、智能化，而且性能也愈来愈好．固态传感器是当前主要发展方向．文中介绍了半导体传感器、固体陶瓷传感器、功能有机薄膜传感器、光纤传感器、表面波传感器和复合敏感材料传感器等方面的发展．在半导体传感器中着重介绍当前新兴的微机械加工技术和利用微机械加工技术及大规模集成电路技术发展出的智能传感器．

作者关定华

机构地区中国科学院声学研究所

出处《物理》 CAS 北大核心 1989年第2期76-79,104,共5页 Physics

关键词敏感材料固态传感器传感器发展

分类号 TP212.04 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

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