TiN涂层薄膜厚度测试的应用

一、引言八十年代以来,国内外工具工业普遍地对高速钢刀具采用了TiN(TiC)涂层工艺,经过该工艺处理的刀具表面形成了一层极薄(一般为1～5μm)的超硬(HV2000左右)薄膜。这种薄膜有效地提高了高速钢刀具的切削性能,其寿命大幅度地提高。对于类似齿轮滚刀、插齿刀、拉刀等精密复杂刀具来说,TiN涂层的厚度不应超过刀具的精密要求,也就是说涂层太厚的话会使刀具的尺寸变大,使刀具报废,涂层太薄将起不到好的效果。所以对TiN涂层厚度的测量则是保证产品质量的重要因素之一,并且生产中涂层厚度测试数据的反馈可以用来调整涂层工艺参数。目前涂层厚度测试的方法很多,有金相法,β射线测厚法,以及本文介绍的球痕法。这里着重研究我厂从美国引进的PV型球痕仪的构造原理和使用特性,并对其在实际应用中出现的几种典型磨痕进行讨论。二、PV型球痕仪的构造和使用方法 1.构造(见图1) 2.