摘要
分析了国际上飞秒激光同材料相互作用的实验研究,介绍了飞秒激光加工过程中,各个光参数对加工质量和加工尺寸的影响,针对光参数在飞秒激光加工过程中产生的影响做出了分析。
The research of material processing with femtosecond l aser has been performed in many countries.The development of many kinds of mater ial processing with femtosecond laser in the world is introduced and the optical parameters’effect on the micromahining process is analyzed.
出处
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第3期304-307,共4页
Laser Technology
基金
北京市自然科学基金重点资助项目(3021001)
关键词
飞秒激光
微加工
光参数影响
烧蚀阈值
femtosecond laser
micromaching
optical parame ters’effect
ablation threshold
