高精度加速度传感器

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摘要日本三菱电机公司，利用最新的微型机械加工技术——DRIE工艺，开发了高性能的加速度传感器(加速度测定范围2G，G=重力加速度)。该传感器与公司生产的老产品相比，加速度检测精度提高了2倍，此外，将偏置电压的温度漂移量抑制到1／2以下，提高检测精度，实现行业内最高水平的小型化与高性能化，同时，由于内置信号处理IC，实现低价格化。

出处《发明与创新（大科技）》 2005年第6期47-47,共1页

关键词加速度传感器高精度日本三菱电机公司微型机械加工技术检测精度重力加速度速度测定偏置电压高性能化信号处理 E工艺 DRI 老产品漂移量小型化低价格相比

分类号 TQ320.79 [化学工程—合成树脂塑料工业] TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

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