我国规模最大的二氯硅烷项目在豫启动

列入国家高技术产业化示范工程的50t／a高纯二氯硅烷项目奠基仪式日前在河南沁阳国顺硅源光电气体有限公司举行。该项目总投资6363万元，主要投资方为北京元泰大友投资管理有限公司；预计2005年完成设备安装、调试和试生产，2006年正式投产。目前，国内还没有一家能够规模化生产二氯硅烷的厂商；国内集成电路产业所需的二氯硅烷几乎全部依赖进口，2003年进口约70t。