提高暗视野观察性能的工业显徽镜

日本奥林巴斯公司推出可提高暗视野观察等光学特性的工业显微镜“MX5”。该工业显微镜可用于工业材料、电子元器件、150mm以下半导体晶圆与磁头的检查。