极弱静电荷电量的测量方法

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摘要编号：0506234 该发明专利是一种极弱静电荷电量的测量方法，特别适用于荷电量小于10～16库仑的弱电场的测量，待测样品厚度小于或等于500nm。

作者陈建文高鸿奕李儒新徐至展

机构地区中国科学院上海光学精密机械研究所

出处《科技开发动态》 2005年第6期43-43,共1页 R&D Information

关键词测量方法荷电量静电发明专利

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2005年第6期

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