柔性平板波压差式微流量传感器及其制作方法
被引量：1
摘要
编号：0506246 该发明专利涉及微流量测量的传感器及制作方法。
出处
《科技开发动态》
2005年第6期46-46,共1页
R&D Information
同被引文献46
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