摘要
这里介绍了炉室上升式BS法单晶炉的设计思路及工作原理,结合晶体生长的特殊工艺要求,分析了其主要结构及特点。
The paper introduces the design ideas and principium of the hearth ascending BS method single crystal growth furnace according to the special technics of crystal' growing, interprets main structure and characteristic of the equipment.
出处
《机械设计与制造》
北大核心
2005年第6期4-5,共2页
Machinery Design & Manufacture
关键词
单晶炉
结构
BS法
炉室上升
The single crystal growth furnace
Structure
BS method
Herth ascending
