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石墨衬底生长高质量金刚石膜的优势

Superiorities of deposition high quality diamond film on graphite substrate
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摘要 石墨衬底上可以沉积出晶体取向性较强的(220)织构的金刚石膜,这种金刚石膜的热导率高、断裂强度大;石墨衬底上沉积金刚石形核致密、速度快;石墨上沉积的金刚石膜纹理缺陷少。对石墨衬底的这些优势做了比较详尽的分析。 Diamond films with main crystal direction (220) can be deposited on graphite substrate and there are less veins drawback in them . It is found that the thermal conductivity and the fracture strength of diamond film are related to its crystal orientation .
出处 《河北省科学院学报》 CAS 2005年第1期40-41,共2页 Journal of The Hebei Academy of Sciences
基金 河北省创业创新基金资助(01C-13003113003)
关键词 石墨衬底 晶体取向 热导率 断裂强度 Graphite substrate Crystal orientation Thermal conductivity Fracture strength
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参考文献1

  • 1范梁.宝石轴承加工[M].北京:机械工业出版社,1998..

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