X光能谱与能量精密测量系统与线谱诊断

新型XRD不论是响应特性，还是外形体积，都必须满足谱仪小型化的要求。其次，需考虑色散元件，谱仪仍采取滤波法。由于三倍频打靶M带辐射强度大幅度提高，高能尾部对输出信号的贡献很大，所有探测道都必须抑制高能尾部，用掠入射平面镜截止的能量就更高。用平面镜截止高能X射线的途径：一是平面镜使用高原子序数材料，二是减小掠射角。