从氯硅烷中去除水分和硅氧化物的清除剂的组成、工艺过程及其装置

一种可用的从氯硅烷中去除水分和硅氧化物的清除剂。其组成包含：(a)一种载体；(b)与载体相关联的一种或多种化合物。它是选自分子式为Ra-xMClx的一组化合物(式中M代表一种金属。其中一价金属有锂、钠和钾；二价金属有镁、锶、钡和钙；三价金属有铝。R代表烷基。α代表金属M的价位数。x代表由0～α的数目。)。