硅基微通道热交换器

该专利是一种用于高热流密度电子元器件散热冷却的硅基微通道热交换器。该专利提出的技术方案是：在半导体硅基片上蚀刻由多条沿冷却液流动方向的纵向微通道和在垂直于流动方向上具有一定相互间隔距离的多条横向微通道构成的微通道，所说的纵向微通道和横向微通道形成纵横交错微通道阵列，并用耐热玻璃封装微通道。