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主动压力抛光光学磨镜设备的压力控制器

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摘要 该专利是一种主动压力抛光光学磨镜设备的压力控制器。其特征是设置了一个作用于主动压力抛光盘的压力控制器。
作者 汪达兴 王磊
出处 《科技开发动态》 2005年第4期48-48,共1页 R&D Information
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