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金刚石固结磨具研磨脆性材料

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摘要 研磨是一项用于许多不同工业领域的重要加工和抛光技术,比如,金属、电子和光学元件的制造及硅片的生产都要用到研磨技术。在这些使用中,都是用来加工平坦的基片,这些基片要控制厚度、平面度和表面粗糙度,平面抛光可以用单面也可以用双面加工来达到。传统的研磨可以分为两种基本类型:自由磨料研磨和固结磨具研磨。
作者 许延芝
出处 《磨料磨具通讯》 2005年第6期1-3,共3页
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