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金刚石固结磨具研磨脆性材料
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摘要
研磨是一项用于许多不同工业领域的重要加工和抛光技术,比如,金属、电子和光学元件的制造及硅片的生产都要用到研磨技术。在这些使用中,都是用来加工平坦的基片,这些基片要控制厚度、平面度和表面粗糙度,平面抛光可以用单面也可以用双面加工来达到。传统的研磨可以分为两种基本类型:自由磨料研磨和固结磨具研磨。
作者
许延芝
机构地区
郑州磨料磨具磨削研究所
出处
《磨料磨具通讯》
2005年第6期1-3,共3页
关键词
固结磨具
脆性材料
金刚石
表面粗糙度
抛光技术
工业领域
研磨技术
光学元件
双面加工
平面抛光
基本类型
平面度
基片
金属
磨料
分类号
TG74 [金属学及工艺—刀具与模具]
TB301 [一般工业技术—材料科学与工程]
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磨料磨具通讯
2005年 第6期
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