Soitec与ASM制造成功300mm直径应变绝缘硅晶圆

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摘要 Soitec SA公司日前宣布，已与ASM国际制造出300mm直径的应变绝缘硅(sSOI）晶圆。两家公司还宣布拓展双方的合作关系，进一步提升制造效率并开发sSOI产品．sSOI品圆应变值为1．5gigapascal(GPa)，晶圆同质度为±7％，创记录的应变对应的硅品格变形度为近1％。应变硅层厚度为200埃，

出处《集成电路应用》 2005年第1期61-61,共1页 Application of IC

关键词 SOITEC SA公司 ASM公司应变绝缘硅晶圆性能

分类号 TN492 [电子电信—微电子学与固体电子学]

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