摘要
根据国内外半导体产业的发展趋势,分析了φ200mm全自动探针测试台在中国的发展及所需的相关技术。
Based on the international trend of IC industry, analyzing the development of φ200mm wafer automatic prober in China and study its important technologies.
出处
《电子工业专用设备》
2005年第7期52-55,共4页
Equipment for Electronic Products Manufacturing
