摘要
综述了铁电薄膜/半导体异质结构研究近年来的新进展。重点介绍了异质结构制备工艺的改进和界面的最新研究状况。简单叙述了全钙钛矿异质结构的发展情况。指出了铁电薄膜/半导体异质结构研究领域需要解决的一些问题。
Recent studies on ferroelectric thin film/semiconductor heterostructure are discussed in this paper. Improvement of heterostructure processing methods, interface studies and development of all-perovskite heterostructure are introduced. Some key problems on heterostructure study are outlined.
出处
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第3期450-453,486,共5页
Journal of Synthetic Crystals
关键词
铁电薄膜
异质结构
缓冲层
界面
全钙钛矿
ferroelectric thin film
heterostructure
buffer layer
interface
all-perovskite