快速原子层沉积法制成的金属氧化物／金属氮化物

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摘要美国Genus公司开发出一种快速原子层沉积(RAD)技术，用该法可快速制造金属氧化物层和氮化物层，该项目受到导弹国防局的资助。在2002年夏天，该公司建立了一条ALD设备生产线及相关服务项目，名之为StraGem。

作者杨英慧

出处《现代材料动态》 2005年第7期16-16,共1页 Information of Advanced Materials

关键词金属氧化物金属氮化物沉积法制成原子层沉积 2002年氮化物层快速制造服务项目生产线 ALD 公司

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现代材料动态

2005年第7期

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