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国家“十一五”将重点发展17类新材料
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职称材料
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摘要
从第八届科博会中国可持续发展战略论坛上获悉,新材料产业“十一五”规划将重点发展17类新材料。首先是硅基微纳电子材料。我国将发展2~3个满足100~45nm线宽集成电路需求的8英寸、12英寸硅单晶、晶片和外延片的高技术产业基地,形成年产3000t多晶硅的生产能力,以及进行6~8英寸SOI、SiGe/Si和应变硅材料示范工程建设。
出处
《有色冶金节能》
2005年第3期45-45,共1页
Energy Saving of Nonferrous Metallurgy
关键词
可持续发展战略
“十一五”规划
SIGE/SI
示范工程建设
新材料产业
电子材料
集成电路
产业基地
生产能力
第八届
硅单晶
外延片
多晶硅
SOI
硅材料
硅基
线宽
晶片
分类号
TN322.8 [电子电信—物理电子学]
F061.3 [经济管理—政治经济学]
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有色冶金节能
2005年 第3期
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