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微机高倍数光栅信号细分技术及应用 被引量:1

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摘要 微机高倍数光栅信号细分技术及应用合肥工业大学精密仪器系孟超,胡生清一、前言光栅计量技术被誉为传感技术从模拟发展到数字化的一项重要技术,其应用范围越来越广。目前国内外在位置精密测量中长光栅栅距一般在8μm以上,圆光栅角节距多在20″以上。但光栅测长分辨...
作者 孟超 胡生清
出处 《中国仪器仪表》 1995年第5期25-27,共3页 China Instrumentation
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共引文献7

同被引文献6

引证文献1

二级引证文献3

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