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微机高倍数光栅信号细分技术及应用被引量：1

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摘要微机高倍数光栅信号细分技术及应用合肥工业大学精密仪器系孟超，胡生清一、前言光栅计量技术被誉为传感技术从模拟发展到数字化的一项重要技术，其应用范围越来越广。目前国内外在位置精密测量中长光栅栅距一般在８μｍ以上，圆光栅角节距多在２０″以上。但光栅测长分辨...

作者孟超胡生清

机构地区合肥工业大学精密仪器系

出处《中国仪器仪表》 1995年第5期25-27,共3页 China Instrumentation

关键词光栅计量信号细分技术微机

分类号 TH741.6 [机械工程—光学工程]

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中国仪器仪表

1995年第5期

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