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一种微处理器控制的膜厚测量仪器
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摘要
本文介绍了一种电脑膜厚测量仪器的工作原理及其结构,讨论了实现膜层厚度非线性的校正方法。
作者
陈文芗
机构地区
厦门大学科学仪器系
出处
《中国仪器仪表》
1995年第5期21-22,共2页
China Instrumentation
关键词
无损检测
测厚
微处理器
膜厚测量仪器
分类号
TP274.5 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TG87 [金属学及工艺—公差测量技术]
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中国仪器仪表
1995年 第5期
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