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一种微处理器控制的膜厚测量仪器

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摘要 本文介绍了一种电脑膜厚测量仪器的工作原理及其结构,讨论了实现膜层厚度非线性的校正方法。
作者 陈文芗
出处 《中国仪器仪表》 1995年第5期21-22,共2页 China Instrumentation
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