声光外差干涉精密动态角度测量系统

本文提出了一种用于精密角度测量的新型干涉仪．使用普通氦－氖激光器，采用声光调制、光外差干涉、电信号混频、比相技术，可得到较高的测量分辨率．干涉仪结构简单调整方便。