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离子束技术

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摘要 离子束作为材料合成、加工技术在飞速发展,有着巨大的科学上和工业上的意义。本文就离子束技术目前的发展及其在某些重要领域中的应用作一概括介绍。
作者 余怀之
出处 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 1989年第5期420-425,共6页 Chinese Journal of Rare Metals
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