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离子束技术
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摘要
离子束作为材料合成、加工技术在飞速发展,有着巨大的科学上和工业上的意义。本文就离子束技术目前的发展及其在某些重要领域中的应用作一概括介绍。
作者
余怀之
机构地区
北京有色金属研究总院
出处
《稀有金属》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1989年第5期420-425,共6页
Chinese Journal of Rare Metals
关键词
离子束技术
离子注入
半导体
金属
分类号
TN305.3 [电子电信—物理电子学]
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稀有金属
1989年 第5期
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