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未来的半导体器件

Maiuliue Semiconductor Devices in the 21st Century
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摘要 本文综观半导体器件的现状,提出21世纪占主导地位的半导体器件为真空半导体器件、BiCMOS器件、低温半导体器件、GeSi异质结器件以及量子效应半导体器件,它们在一定程度上代表了未来半导体器件的发展方向。
作者 叶波
机构地区 复旦大学
出处 《自然杂志》 1995年第5期293-299,共7页 Chinese Journal of Nature
关键词 真空器件 量子效应器件 CMOS器件 半导体器件 <Keyword>vacuum peevre,BICMOS device low temperature device heterojunctlon device quanturn effect device
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