摘要
本文综观半导体器件的现状,提出21世纪占主导地位的半导体器件为真空半导体器件、BiCMOS器件、低温半导体器件、GeSi异质结器件以及量子效应半导体器件,它们在一定程度上代表了未来半导体器件的发展方向。
出处
《自然杂志》
1995年第5期293-299,共7页
Chinese Journal of Nature
关键词
真空器件
量子效应器件
CMOS器件
半导体器件
<Keyword>vacuum peevre,BICMOS device
low temperature device
heterojunctlon device
quanturn effect device