同被引文献5
-
1陈树光,张凯明.功率密度对类金刚石碳膜性质的影响[J].薄膜科学与技术,1990,3(3):8-13. 被引量：1
-
2Koskinen J,et al. Dimond-like carbon coatings by arcdischorge methods [J]. Surf Coat Technol, 1991,47:180-187.
-
3Jonsson B,et al. Hardness measurements of thin films[J]. Thin Solid Film,1984,114,257-259.
-
4李忠奇,姜杰,刘成赞,李正芬.类金刚石薄膜的制备、特性及应用[J].光学学报,1990,10(11):1016-1021. 被引量：4
-
5喻志农,朱昌,杭凌侠,严一心.脉冲多弧离子镀制备类金刚石薄膜的特性[J].真空科学与技术,2000,20(2):126-130. 被引量：6
二级引证文献4
-
1杨玉卫,杨坚,古宏伟,刘慧舟,张华,金薇.类金刚石膜的性能、制备及其应用[J].硅酸盐通报,2008,27(1):119-126. 被引量：16
-
2付亚波,桑立军,常龙龙,许文才.DBD等离子体合成类金刚石薄膜及其性能表征[J].包装工程,2008,29(12):44-46. 被引量：3
-
3谢红希,凌贵,朱正涛.RF-PECVD工艺参数对DLC膜结构及性能的影响[J].材料科学与工程学报,2009,27(2):190-194. 被引量：5
-
4董超,路海,沈克胜,熊宗刚,刘孝宇,张现周.红外增透膜研究与展望[J].红外技术,2018,40(3):209-213. 被引量：5
-
1季泳,周鹏飞.类金刚石薄膜和金刚石薄膜的制备[J].上海机械学院学报,1992,14(3):101-106.
-
2周以俭,居建华.RFPCVD法制备类金刚石薄膜的力学性质[J].薄膜科学与技术,1992,5(1):29-35.
-
3友清.金刚石光学元件与类金刚石薄膜的应用[J].国外激光,1989(8):23-23.
-
4丁正明,张志明,许欢南.离子束溅射沉积类金刚石薄膜[J].人工晶体学报,1990,19(1):52-57. 被引量：1
-
5程德刚,吕反修.磁控溅射类金刚石薄膜的热稳定性[J].薄膜科学与技术,1994,7(4):314-317.
-
6张慰萍,陈竞,方容川,胡克良.制备类金刚石薄膜过程中的等离子体发射光谱[J].物理化学学报,1992,8(3):383-388.
-
7程德刚,吕反修,杨让,孙庆标,于文秀.磁控溅射类金刚石的热稳定性[J].湖北汽车工业学院学报,1993(2):16-19. 被引量：1
-
8袁安富,王珉.类金刚石薄膜厚度的测量[J].新技术新工艺,2001(2):43-45. 被引量：1
-
9马玉蓉,张胜.用激光等离子体气相沉积法制备类金刚石薄膜及光学性质研究[J].量子电子学,1993,10(3):264-267.
-
10薛运才.类金刚石薄膜的光吸收及其禁带宽度的研究[J].郑州轻工业学院学报,1997,12(1):74-76. 被引量：2
;
