第二代硅技术新浪潮

近10年来,微电子产业获得巨大发展,而且,今后会有更大发展前景——在跨世纪时代将成为支持新产业的中流砥柱。要维持微电子产业的发展,必须保证半导体材料中性能优异的金属材料的长期而稳定供给。20年来.硅在半导体电子学材料中占主导地位,而且正形成“锗——硅技术”浪潮。因此。