碟形波纹薄膜的性能研究

在制造和使用光学元件时,为减轻元件的负荷采用了具有柔性支座的可调节装置。我们研制了没有刚性中心的胶布薄膜结构作为这种支座。薄膜的蝶形和波纹的配合降低了其固有的刚性(图1),并达到受力特性的稳定,所以,可把光学元件形状的制造精度提高到0.01μm。安装和调试自动调节装置的劳动量可减少一半。