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第三讲:机械真空泵(三)

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摘要 第三讲:机械真空泵(三)张以忱(东北大学)(4)气镇装置的结构与计算1)气镇阀的结构与设置最简单常用的气镇间结构如图9所示。一般均由调节件与逆止间两部分组成。调节件用来控制掺入的气体量。逆止阀是用来防止泵腔内的混合气体压力高于掺气压力时出现返流。图9...
作者 张以忱
机构地区 东北大学
出处 《真空》 CAS 北大核心 1995年第6期45-49,共5页 Vacuum
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