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在硅衬底上直接生长Ⅲ—Ⅴ族化合物半导体器件的进展 被引量:2

A Progress of Ⅲ-Ⅴ Compound Semiconductor Devices Grown Directly on Si Substrate
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摘要 本文介绍目前国外直接在 Si(100)衬底上异质外延生长以 GaAs 为代表的Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体材料和器件的进展。 Recent progress in foreign countries on the materials and devices of Ⅲ-Ⅴ compound semiconductors such as GaAs that are hetero-epitaxy grown diiectly on Si(100) substrate are presented.
作者 何兴仁
出处 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 1989年第2期45-50,共6页 Semiconductor Optoelectronics
关键词 硅衬底 晶体生长 半导体器件 Crystal Growth Materials Devices
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