用浸渍法制造的添加Pt的SnO_(2-x)薄膜气体传感器特性

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摘要研究了含有添加Pt的SnO_(2-x)薄膜。SnO_(2-x)叫薄膜是由反应电子束蒸发的烧结SnO_(2-x)粉末而制成。沉积薄膜用H_2PLCl_6·6H_2O水溶液浸渍,并加热。用电子分光仪进行化学分析、研究表面结构和制成膜的成份,用x射线衍射仪进行研究薄膜的电特性和添加剂Pt的效应。

作者彭士元刘德启黄钢

出处《黑龙江电子技术》 1995年第2期1-3,F003,共4页

关键词传感器薄膜浸渍法铂氧化物

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黑龙江电子技术

1995年第2期

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