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在退火的硅基片上生长GaAs

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作者 义仡
出处 《电子材料快报》 1995年第6期6-7,共2页
关键词 硅 硅基片 GAAS 半导体 退火
分类号 TN304.23 [电子电信—物理电子学]
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电子材料快报
1995年 第6期

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