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Cu／TiN／Si（100）异质结的脉冲激光沉积与性能

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作者 青春
出处 《电子材料快报》 1995年第6期15-16,共2页
关键词 半导体 Cu/TiN/Si 异质结 脉冲激光沉积法 TIN
分类号 TN304.82 [电子电信—物理电子学]
电子材料快报
1995年 第6期

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