一种具有实用价值的准分子激光步进机的设计及其特性

准分子激光步进机在其实用价值方面已达到成熟阶段。本文对大视场大ＮＡ透镜的开发和０．３５μｍ及其以下的成像特征尺寸进行了说明。准分子激光器在其生产性、稳定性、可靠性、安全性和使用成本等方面己达到实用阶段。准分子激光步进机设备的综合控制问题例如：聚焦、曝光和套刻稳定性等已经得到解决。并且可使抗蚀剂系统、抗蚀剂工艺、测量和传统掩模制造等技术得到不断地改进和利用。本文专门讨论准分子激光步进机设计的具体问题，并根据一些生产现场安装采用的新型透镜ＸＬＳ￣（ＴＭ）远紫外步进机来描述其特性数据。