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高压功率晶体管的纵向结构设计
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摘要
本文给出高压功率晶体管的纵向结构设计,可以为器件的工艺设计提供依据,以及选择实施的工艺方案。
作者
孔德平
张本袁
出处
《上海微电子技术和应用》
1995年第2期34-36,共3页
关键词
功率晶体管
结构
设计
分类号
TN323.402 [电子电信—物理电子学]
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上海微电子技术和应用
1995年 第2期
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