PZT铁电薄膜离子束刻蚀研究

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摘要以Ｐｔ为上下电极和中间ＰＺＴ薄膜的铁电电容器主要由油射法和离子束刻蚀法制备。研究快速热处理实现铁电相转变的条件和离子束刻蚀工艺对铁电容器图形的影响，选择合理的制备工艺可得到针电电容器。

作者陈国明郭懋端

出处《上海微电子技术和应用》 1995年第4期10-12,共3页

关键词 PZT薄膜离子束刻蚀快速热处理铁电薄膜

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上海微电子技术和应用

1995年第4期

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