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亚微米电子束曝光机工件台控制系统
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摘要
激光工件台是电子束曝光机关键部件之一。它主要任务是完成图形的拼接。本文描述双频激光干涉仪为测量系统的计算机控制的数字伺服系统以及真空条件下的X-Y工件台。该系统用于亚微米圆形矢量扫描电子束曝光机中。
作者
张安福
谭敏
出处
《LSI制造与测试》
1995年第2期20-26,共7页
关键词
电子束曝光机
双频
激光干涉仪
工件台
控制系统
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
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