期刊文献+

亚微米电子束曝光机工件台控制系统

下载PDF
导出
摘要 激光工件台是电子束曝光机关键部件之一。它主要任务是完成图形的拼接。本文描述双频激光干涉仪为测量系统的计算机控制的数字伺服系统以及真空条件下的X-Y工件台。该系统用于亚微米圆形矢量扫描电子束曝光机中。
作者 张安福 谭敏
出处 《LSI制造与测试》 1995年第2期20-26,共7页
  • 相关文献

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...
;
使用帮助 返回顶部