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硅单晶抛光片为基片制作混合集成电路的探讨

ON THE EXISTSENCE OF WEAK SOLUTIONS TO A SYSTEM OF SEMICONDUCTOR EQUATIONS WITH AVALANCHE GENERATION
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摘要 采用硅单晶抛光片取代95-瓷、微晶玻璃及环氧敷铜板等材料做为基片,制作混合集成电路,生产成本低、产品设计变更快、工艺简便可行,对生产某些体积小、产量低的特殊混合集成电路模块是一种行之有效的方法。
作者 金锡昆
出处 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1995年第1期47-48,62,共3页 Semiconductor Technology
关键词 硅单晶 基片 混合集成电路 制作 抛光片 Semicondctor equations Avalanche generation Mixed boundary value problem Global weak solution
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