扫描电镜在多层布线技术中的应用

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摘要论述了扫描电镜技术在ＶＬＳＩ多层布线技术中的应用。扫描电镜技术为层间介质膜的制备、介质膜表面平坦化及介质通孔的干法腐蚀结果，提供了清晰的照片，有效地指导了多层布线的工艺研究并获得了用于ＶＬＳＩ的最佳化多层布线工艺条件。

作者岳德全黄宁阳邵丙铣宗祥福邵建新江锋曹炀彬

机构地区国家微电子材料与元器件微分析中心

出处《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1995年第2期54-57,共4页 Semiconductor Technology

基金 "国家微电子材料与元器件微分析中心"开放课题

关键词多层布线扫描电镜平坦化技术互连

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半导体技术

1995年第2期

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