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国产HVM3509硅高压整流堆的设计与制造
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摘要
介绍了国产HVM3509微波炉专用硅堆的工艺特点和关键设计制造工艺。该产品具有体积小、电流大、压降低、漏电流小和可靠性高等独特优点。研制结果表明:该产品已达到日本HVM3509同类产品标准。
作者
杭德生
机构地区
南京大学加速器研究所
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1995年第2期26-28,共3页
Semiconductor Technology
关键词
整流堆
硅堆
工艺
设计
HVM3509
标准
微波炉
分类号
TN359.202 [电子电信—物理电子学]
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半导体技术
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