应用12MeV电子辐照效应制造硅p^＋nn^＋高频整流二极管

介绍了应用１２ＭｅＶ电子辐照效应将Ｐ￣＋ｎｎ￣＋普通整流二极管改制成高频整流二极管的新技术。多年研究、制造结果表明，该方法与传统掺金工艺相比，少子寿命控制精确，ｔ＿（ｒｒ）、Ｖ＿Ｆ一致性、重复性好，高温性能明显改善，合格率提高３０％以上，工艺简而易行，经济效益显著。